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5月29日，科創(chuàng)半導體設備ETF鵬華基金（589020）最新份額為5.0億份，較前一交易日增加了2400.0萬份。當日資金凈流出1485.1萬元（資金流向是當日計算的資產凈值和上一交易日計算的資產凈值相減得出的），最新資產凈值計算值為9.89億元。該基金近一周凈值下跌4.58%，近一個月凈值上漲28.69%。

科創(chuàng)半導體設備ETF鵬華基金成立于2025年8月27日，基金經理為林嵩，基金跟蹤標的為上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數，成立以來超額回報為-4.17%，近一個月超額回報為-0.24%。最新披露的基金持倉數據顯示，截止2026年3月31日，該基金第一大重倉股為拓荊科技（688072），持股占比為10.69%。

本文數據來源于上海證券交易所網站、鵬華基金管理有限公司網站，僅供參考不構成投資建議。