濺射靶材是制作薄膜的主要材料之一。它是高速荷能離子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，主要由靶坯、背板等部分構(gòu)成。

靶坯作為靶材的核心部分，是高速離子束流轟擊的目標材料，在濺射鍍膜過程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子會被濺射飛散出來并沉積于基板上形成電子薄膜；背板主要起固定濺射靶材的作用，一般需要具備良好的導電、導熱性能。

(資料圖)

濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環(huán)節(jié)。濺射靶材對金屬材料純度的要求較高。平面顯示面板用的高純鉬靶（>99.97%）、ITO 靶（>99.99%）等，國內(nèi)上游企業(yè)已具備相對成熟的提純技術(shù)，可以滿足靶材的制造要求。

對于半導體芯片用的超高純靶材（99.999%以上），國內(nèi)上游廠商的金屬提純技術(shù)有限，因此當前主要依賴國外（美國、日本）進口的高純金屬。

濺射靶材主要的應用場景包括半導體芯片、平面顯示器、太陽能電池和信息存儲等。半導體芯片對濺射靶材的金屬材料純度、內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)等方面有較高的要求；在平面顯示器、太陽能電池領域，隨著靶材尺寸的增大，靶材的焊接結(jié)合率和平整度等需達到更高的標準。

據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院2023 年數(shù)據(jù)顯示，目前在濺射靶材的應用分布上，平板顯示占比 34%左右，信息存儲約占 29%，太陽能電池和半導體芯片分別占比 18%和 11%。

我國靶材市場規(guī)模持續(xù)增長

靶材及超高溫特種功能材料行業(yè)作為電子材料的子行業(yè)，屬于國家重點鼓勵、扶持的戰(zhàn)略性新興行業(yè)。近年來，為了鼓勵國內(nèi)靶材行業(yè)的發(fā)展以及加快核心材料的國產(chǎn)替代進程，我國出臺了一系列政策措施。靶材作為半導體、顯示面板和光伏領域的關(guān)鍵核心材料，在政策支持和國產(chǎn)化替代的大背景下，行業(yè)前景廣闊。

靶材行業(yè)具有較高的行業(yè)壁壘，產(chǎn)業(yè)集中度較高。一方面，靶材制造工序繁多、技術(shù)難度高，生產(chǎn)過程涉及的核心技術(shù)包括金屬純度控制和提純技術(shù)、晶粒晶向控制技術(shù)、異種金屬大面積焊接技術(shù)等。

另一方面，靶材行業(yè)采取供應商認證機制，認證周期較長，一般為 2-3 年。長期以來，全球的靶材市場主要集中在美國和日本的幾家龍頭企業(yè)，包括霍尼韋爾（美國）、日礦金屬（日本）、東曹日本）等。

我國的濺射靶材行業(yè)起步較晚，目前仍屬于新興行業(yè)，目前該領域的重點企業(yè)主要有江豐電子、隆華科技和阿石創(chuàng)等。據(jù)華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院統(tǒng)計，2020 年我國靶材市場外資企業(yè)的占比高達 70%，江豐電子、隆華科技和阿石創(chuàng)等國內(nèi)企業(yè)市場份額較低，分別占比 3%、3%和1%。

近年來，國內(nèi)靶材行業(yè)的領先企業(yè)加大研發(fā)投入，正逐步突破關(guān)鍵技術(shù)門檻，部分產(chǎn)品也已投入規(guī)?；a(chǎn)。例如，國產(chǎn)高純 Mo 靶材、ITO 靶材已實現(xiàn)技術(shù)突破，同時依靠國內(nèi)原材料高純鉬粉、高純銦等資源優(yōu)勢，已經(jīng)具備較強的產(chǎn)品競爭力。

在國家政策支持和靶材國產(chǎn)化替代訴求日益強烈的背景下，我國靶材市場規(guī)模實現(xiàn)了持續(xù)增長，自 2018 年到 2022 年，我國靶材市場規(guī)模由 243 億元增長至 395 億元，CAGR 為 12.91%。據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院測算，2023 年中國靶材市場規(guī)模將達到 431 億元，同比增長 9.11%。

從產(chǎn)品結(jié)構(gòu)和客戶結(jié)構(gòu)上看，江豐電子主要生產(chǎn)金屬材料的濺射靶材，下游客戶涵蓋半導體、顯示面板和太陽能企業(yè)；阿石創(chuàng)的主要產(chǎn)品為金屬靶材和化合物靶材，客戶主要為顯示面板和光學通訊行業(yè)；隆華科技的主要靶材產(chǎn)品為鉬靶材和 ITO 靶材，主要應用于顯示面板領域，目前正逐漸布局光伏電池領域。

消費電子拓展靶材市場空間

ITO 靶材是一種新型半導體氧化物陶瓷材料，是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過相應的生產(chǎn)工藝加工成型，再高溫氣氛燒結(jié)(1600°C,通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導體。

ITO 靶材是半導體光伏、LCD/OLED 顯示器等領域核心原材料之一。它主要用于磁控濺射制備高性能 ITO 光電薄膜，在此過程中 ITO 薄膜以 ITO 靶材作為原材料，通過磁控濺射把 ITO 靶材氣化濺鍍到玻璃基板或柔性有機薄膜上。

ITO 靶材上游主要原材料為金屬銦，其國內(nèi)儲量和價格是影響 ITO 靶材大規(guī)模生產(chǎn)和應用的主要因素。國內(nèi)銦礦儲量有限，且銦價格存在波動性。

ITO 靶材國產(chǎn)化替代需求強烈。據(jù)華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)顯示，2019 年，我國已成為 ITO 靶材需求大國，但大部分（約 52%）的 ITO 靶材供應來自國外，國內(nèi)靶材廠商主要供應中低端市場。當前我國已成為全球最大的顯示面板生產(chǎn)基地，ITO 靶材國產(chǎn)化替代進程將不斷加速。

ITO 靶材的兩大主流應用場景為平板顯示和薄膜光伏電池領域。其中，平板顯示器用的靶材（FPD 靶材）的純度要求在 5N 左右，主要用于制作 ITO 玻璃和觸控屏電極平板，ITO 靶材在顯示靶材中占比將近 50%。

薄膜太陽能電池用的ITO 靶材純度要求為 4N 左右，主要用于光伏薄膜電池的背電極，該領域使用的主要是方形板狀靶材；異質(zhì)結(jié)電池在制備 TCO 導電膜時主要采用 ITO 靶材。

平板顯示器主要在顯示面板和觸控屏面板兩個產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)節(jié)使用濺射靶材，主要包括鉬靶、鋁靶、鋁合金靶、鉻靶、銅靶、銅合金靶、硅靶、鈦靶、鈮靶和ITO 靶材。顯示面板市場主要分為 LCD 和 OLED 面板市場。顯示面板國產(chǎn)替代化進程加快，國內(nèi)顯示面板市場規(guī)模快速擴大，將帶動上游靶材行業(yè)的發(fā)展。

LCD 面板在顯示面板市場中占主導地位，主要應用在電視、筆記本電腦等大尺寸屏幕顯示領域。近年來，國內(nèi)廠商京東方、TCL 華星等產(chǎn)能不斷釋放，逐漸在 LCD 行業(yè)占據(jù)主導地位，顯示面板國產(chǎn)化替代趨勢明顯。

2020 年國內(nèi)LCD 面板出貨量 89.9 百萬平方米，預計 2025 年將達到 115.1 百萬平方米，2020-2025 年出貨量 CAGR 為 5.07%。

OLED 面板的柔性特質(zhì)能夠滿足曲面和折疊屏的需求，被廣泛應用于智能手機和智能穿戴等消費電子領域，其市場滲透率正處于快速提升的階段。2020 年國內(nèi) OLED 面板出貨量為 1.2 百萬平方米，預計到 2025 年將達到 6.1 百萬平方米， 2020-2025 年出貨量 CAGR 為 38.43%。

隨著宏觀經(jīng)濟環(huán)境好轉(zhuǎn)，智能手機行業(yè)有望回暖。2022 年，憑借其創(chuàng)新性形態(tài)和沉浸式大屏體驗，折疊屏手機實現(xiàn)了 154.40%的高增長率，隨著國內(nèi)廠商的陸續(xù)入局和產(chǎn)品迭代，預計未來將會持續(xù)保持較高的增長率。

消費電子行業(yè)回暖有利于上游顯示面板和靶材行業(yè)的業(yè)務增長。OLED 面板因其柔性特質(zhì)能夠滿足折疊屏電子產(chǎn)品的生產(chǎn)需求，隨著折疊屏手機出貨量的上升，OLED 面板市場滲透率預計會快速上升，拓展平板顯示用靶材的市場空間。

ITO是HJT光伏電池生產(chǎn)主流靶材

在“碳達峰/碳中和”目標、清潔能源轉(zhuǎn)型等因素的推動下，光伏發(fā)電將逐漸取代傳統(tǒng)化石能源，未來發(fā)展?jié)摿薮蟆?019 年至 2021 年，中國光伏發(fā)電量由 2243 億千瓦時增加至 3259 億千瓦時，CAGR 為 20.54%，預計 2023 年將達4206 億千瓦時。

光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶動光伏電池產(chǎn)量增長，2019 年-2021 年國內(nèi)光伏電池產(chǎn)量分別為 12862.1、15728.6 和 23405.4 萬千瓦時，CAGR 為 34.90%，預計 2023 年將上升至 44484.1 萬千瓦時。

光伏電池可分為晶體硅光伏電池和薄膜光伏電池兩大類。其中，晶體硅光伏電池占據(jù)光伏電池市場主導地位，較少使用濺射靶材；薄膜光伏電池常用的靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶、ITO 靶 和 AZO 靶等。目前，HJT 電池和鈣鈦礦電池都是第三代光伏電池具有潛力的競爭者。

HJT電池全稱為晶體硅異質(zhì)結(jié)太陽電池，由晶硅材料和非晶材料形成，在晶體硅上形成非晶體薄膜，并通過特殊技術(shù)讓 P 型和 N 型半導體構(gòu)成特殊的 PN 結(jié)，屬于 N 型電池的一種。

異質(zhì)結(jié)電池是一種高效晶硅太陽能電池結(jié)構(gòu)，利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池，即在 P 型氫化非晶硅和 N 型氫化非晶硅與 N 型硅襯底之間增加一層非摻雜（本征）氫化非晶硅薄膜。

ITO 靶材是目前 HJT 光伏電池生產(chǎn)的主流靶材。HJT 電池行業(yè)上游原材料包括硅、銀漿、靶材等;中游主要為電池片的生產(chǎn)制造，主要流程包括清洗制絨、正反面沉積非晶硅薄膜，正反面沉積 TCO 薄膜、絲網(wǎng)印刷、低溫固化等。

下游為光伏組件行業(yè)。HJT 技術(shù)路線因?qū)щ娦詥栴}，引入了透明導電薄膜（TCO），TCO 膜通常使用 ITO（氧化銦錫）進行制備，原材料為稀有金屬銦，但由于銦是伴生礦，產(chǎn)量彈性小且價格高，因此，制作 HJT 電池的靶材成本占比相對較高，約為 1%。

鈣鈦礦型太陽能電池（perovskite solar cells），是利用鈣鈦礦型的有機金屬鹵化物半導體作為吸光材料的太陽能電池，屬于第三代太陽能，主要結(jié)構(gòu)包含透明導電基底、電子傳輸層、鈣鈦礦活性層、空穴傳輸層和頂電極 5 部分，可以廣泛應用于光伏發(fā)電、LED 等領域。

鈣鈦礦(CaTiO3)是于 1839 年發(fā)現(xiàn)的一種新礦石,為了紀念地質(zhì)學家 L A Perovskite,將其命名為 Perovskite,中文名稱為鈣鈦礦。隨后，與 CaTiO3 晶體結(jié)構(gòu)類似的化合物都統(tǒng)稱為鈣鈦礦,以 ABX3 形式表示。

鈣鈦礦光伏成本中靶材成本占比較大。根據(jù)協(xié)鑫光電的數(shù)據(jù)，鈣鈦礦組件中靶材、玻璃等成本占比達 30%以上，而在 2022 年 HJT 電池成本構(gòu)成中，靶材成本占比約為 1%。相比于晶硅技術(shù)路線，鈣鈦礦技術(shù)中的靶材價值量進一步提升。鈣鈦礦電池中 ITO 導電玻璃、空穴傳輸層、電子傳輸層、金屬背電極的制作均會用到各類靶材。

由于鈣鈦礦電池具備制備成本低、光電轉(zhuǎn)換效率高等優(yōu)勢，被認為是未來最具產(chǎn)業(yè)化前景的新型薄膜太陽能電池。隨著鈣鈦礦電池技術(shù)不斷優(yōu)化以及相關(guān)企業(yè)加大產(chǎn)能布局，CPIA 預計 2023 年鈣鈦礦電池新增產(chǎn)能將達 0.5GW，2030年將快速增長至 161GW。同時，鈣鈦礦電池的市場滲透率也將迅速提升，預計2023年鈣鈦礦電池滲透率將達到 0.2%，2030 年將增長至 30%。

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