原標(biāo)題：一生創(chuàng)“芯”終無悔 無私奉獻助國強——記中科院微電子研究所研究員徐秋霞

徐秋霞

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研究員、博士生導(dǎo)師，長期從事集成電路新工藝技術(shù)和新結(jié)構(gòu)器件研究，承擔(dān)國家重大科技攻關(guān)、“973”“863”、國家自然科學(xué)基金等20多項科研項目，獲國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎2項和國家科技進步獎二等獎2項、部級科技進步獎14項，在國內(nèi)外學(xué)術(shù)期刊和會議發(fā)表論文共170多篇。

1958年，為研制“兩彈一星”專用109計算機，中科院微電子研究所（以下簡稱微電子所）的前身、我國第一個半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠——“中國科學(xué)院109廠”成立。從此，中國有了自己的半導(dǎo)體事業(yè)。

有這樣一群人，面對艱難困境，他們不服輸、不認(rèn)邪，默默為中國集成電路事業(yè)打地基、添磚瓦，把青春年華獻給了祖國的科技事業(yè)。微電子所研究員徐秋霞便是其中杰出的一位。

不畏艱難，立志科研報國

1961年，徐秋霞考入浙江大學(xué)物理學(xué)專業(yè)。大三時，國家發(fā)展半導(dǎo)體事業(yè)急需人才，她隨之轉(zhuǎn)入了半導(dǎo)體專業(yè)，從此便與半導(dǎo)體結(jié)下了不解之緣。

大學(xué)畢業(yè)后，徐秋霞選擇去條件艱苦的東北長春半導(dǎo)體廠工作，一干就是10多年，其間與愛人兩地分居8年多。

在一次項目攻關(guān)期間，徐秋霞父親突發(fā)急病，女兒又患上急性肝炎。為了不影響生產(chǎn)任務(wù)，她白天帶父親、女兒看病，晚上加班加點趕進度，確保了項目按時保質(zhì)保量完成。

1978年，徐秋霞進入中科院工作，作為工藝技術(shù)負(fù)責(zé)人，參與并完成了大規(guī)模集成電路4K DRAM的研制及其提高成品率的研究任務(wù)。

此后，徐秋霞陸續(xù)擔(dān)任了中科院“七五”重大項目負(fù)責(zé)人，承擔(dān)了“1~1.5微米新工藝和新器件結(jié)構(gòu)探索性研究”；“八五”期間，作為核心骨干承擔(dān)了“0.8微米全套工藝預(yù)研”項目關(guān)鍵技術(shù)研究和集成電路芯片制備，首次在國內(nèi)自主研發(fā)成功用于0.8微米VLSI的雙層金屬布線技術(shù)，并成功應(yīng)用于0.8微米CMOS電路研制，獲1996年中科院科技進步獎一等獎、1997年國家科技進步獎二等獎。

此后的“九五”“十五”“十一五”，徐秋霞承擔(dān)了多項重要攻關(guān)任務(wù)和專項研究，并帶領(lǐng)團隊獲得2007年教育部科技獎一等獎、2008年國家科技進步獎二等獎、2016年北京市科學(xué)技術(shù)獎一等獎、2017年國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎等多個獎項。

無私奉獻，書寫絢麗科學(xué)人生

徐秋霞堅信，成功不是輕易獲得的。從長春半導(dǎo)體廠到中科院的前沿研究，從“七五”到“十一五”技術(shù)攻關(guān)，數(shù)十載科技創(chuàng)新實踐磨煉了徐秋霞艱苦奮斗的優(yōu)良品質(zhì)和不畏險阻的堅強意志。

只要是工作，徐秋霞就永遠不會感覺疲憊。她每天都在超凈實驗室里工作10多個小時，節(jié)假日也如此，任務(wù)緊急時，她甚至通宵達旦。

從項目總體技術(shù)路線的確定，到單項實驗、技術(shù)集成直至最后的流片方案，徐秋霞事必躬親，力求做到萬無一失。

2006年，先導(dǎo)中心工藝線改造升級。為了不耽誤科研進度，徐秋霞及其團隊采取超常規(guī)的工作方式，從早7點連續(xù)工作到次日凌晨，每天只吃一頓午飯。

臨近春節(jié)，工作強度仍然不減。徐秋霞的一名博士把家人從山東老家接到北京團聚。除夕夜，徐秋霞本打算邀請學(xué)生和他的家人一起吃年夜飯。但由于工作緊張，一直忙碌到第二天凌晨，連飯都沒顧上吃。徐秋霞感到十分愧疚。但這位學(xué)生的父親卻真誠地說：“把兒子交給您，我很放心?！睂W(xué)生家長的理解和信任給了她莫大的安慰和支持。

2013年，徐秋霞不慎摔了一跤，醫(yī)院診斷為脊椎壓縮性骨折。領(lǐng)導(dǎo)和同事都非常關(guān)心她的傷勢。雖然手術(shù)很成功，但必須臥床休養(yǎng)。其間，她每天都用電話和電子郵件與團隊成員溝通工作。一個月后，她剛能起身下床，便身著鐵背心堅持上班。同事們的關(guān)心和愛護給了徐秋霞溫暖，也給了她努力康復(fù)的精神力量。她堅持每天做康復(fù)訓(xùn)練，3個月后，終于痊愈再次奮戰(zhàn)在科研一線。

教書育人，培育高新科技人才

在從事科研工作的同時，徐秋霞為研究生培養(yǎng)傾注了大量心血。

無論科研工作多么繁忙，徐秋霞總會抽出時間與學(xué)生交流、悉心指導(dǎo)。她常教導(dǎo)學(xué)生，做科研首先要有創(chuàng)新精神，只有大膽創(chuàng)新、敢于突破，才能產(chǎn)出成果；其次要心態(tài)平和，甘于清貧、甘于寂寞、甘于枯坐“冷板凳”，要一步一個腳印，將夢想變?yōu)楝F(xiàn)實。

如今，徐秋霞已年逾七旬，但精神矍鑠，像年輕人一樣充滿活力，堅持奮戰(zhàn)在科研一線。她常說：“我多么希望咱們中國在最前沿的集成電路科技領(lǐng)域，能夠擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，能夠具有核心技術(shù)的競爭力，能成為集成電路產(chǎn)業(yè)的強國。幾十年來，我一直希望看到這樣一個局面?！?/p>

徐秋霞為實現(xiàn)這個目標(biāo)付出畢生努力。她幾十年如一日，忠于職守，為集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展無私奉獻，以實際行動激勵著后來人為實現(xiàn)中國集成電路強國之夢而奮斗。

（作者：徐子梁，單位：中科院微電子研究所）

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